SEMOZON? AX8555 臭氧輸送系統(tǒng)可配置多達四 (4) 個獨立通道，以同時支持多個 ALD 工具或腔室。每個通道都可以與您的特定過程所需的特定濃度和流量相匹配。它包括獨立運行所需的所有子組件，包括配電、環(huán)境臭氧安全監(jiān)視器、狀態(tài)指示燈面板和每個通道的可選集成臭氧破壞器。

特點：

高臭氧濃度

超凈臭氧

占地面積小

擁有成本低

規(guī)格

類型：臭氧氣體輸送系統(tǒng)

臭氧輸出：每個通道 26 - 180 克/小時

流量：每個通道 0.5 - 5 slm

原料氣：氧氣、氮氣（總流量的 20 - 100 ppm）、二氧化碳（總流量的 1000 - 2000 ppm）

原料氣供應壓力：標稱60 psig (4.2 kg/cm 2 )， 很大 75 psig (5.3 kg/cm 2 )，N2/CO2 壓力比 O2 壓力高 10 psi

原料氣純度： 很低 99.9995%

工作溫度：41 - 104°F (5 - 40°C)

所需冷卻水溫度：63 - 73°F (17 - 23°C)

需要冷卻水過濾：20微米

所需的冷卻水質(zhì)量：脫礦質(zhì)

所需的冷卻水 很小流量： 很低 1.0 gpm (2.3 - 3.8 slm) 至 很高 1.6 gpm。每個通道（取決于配置）

需要冷卻水連接：1/2 英寸壓縮 (Swagelok?)

需要冷卻水流量控制/指示：帶閥變面積流量計

需要冷卻水壓力指示：入口壓力表

電壓要求：208 伏交流電 (±10%)，三相

當前要求：15 安培 RMS，30 安培服務，31 安培 RMS，50 安培服務（取決于配置）至少 10,000 AIC

頻率：50/60 赫茲

壓力指示：每種氣體的入口壓力表

排氣流量：150 立方英尺/秒（70.8 升/秒）

排氣類型：SEMI 類別 4（危險氣體或蒸氣的意外或緊急釋放）

排氣靜壓： 很小 0.10 英寸（2.54 毫米）H2O 在機柜上的管道法蘭適配器底部測量

控制氣壓：70 - 100 磅/平方英寸

控制空氣類型：CDA 或干燥氮氣，40μm 過濾

控制空氣接頭：1/4 英寸壓縮 (Swagelok?)

排氣連接：6 英寸直徑的管道開口

尺寸：24 x 75 x 36 英寸（610 x 1575 x 914 毫米）（寬 x 高 x 深）

相對濕度：30 - 90%（非冷凝）

重量：600 lbs.(272 kg) 用于配備一臺發(fā)電機的系統(tǒng)，880 lbs.(400 kg) 用于配備四臺發(fā)電機的系統(tǒng)

遵守：CE, S2 - 0302, F47

高度：平均海平面以上 3280 英尺（1000 米）